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    KINO M460/M680A

        通过SEMI/CE认证
        小型化集成机台设计
        具有OCR字符读取功能
        可对薄片100μm晶圆进行传送（选配）
        可选用DUV光学系统，实现CD量测功能
        可选用红外IR光学系统
        标配Wafer Map功能
        可导入KLAF/Bin Map档案
    产品详情

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