KINO 200A

  具有Open Cassette
  SMIF卡匣接口，可选配标准
  共用标准开放式卡匣
  陶瓷双叉末端处理器可针对翘曲晶圆
  具备宏观检查功能
  可选用DUV光学系统，实现CD量测功能
  可选用红外IR光学系统
  标配Wafer Map功能
  可导入KLAF/Bin Map档案