KINO 300A

 适用于12 inch Notch晶圆
 8 inch SEMI 25片开放式卡匣 
 12 inch FOUP & FOSB 卡匣
 可选配AI 自动缺陷检测功能
 SECS/GEM通讯协议
 可选用DUV光学系统，实现CD量测功能
 可选用红外IR光学系统
 标配Wafer Map功能
 可导入KLAF/Bin Map档案